2003年度上海市納米科技計劃項目申請評審結(jié)果已揭曉，微系統(tǒng)所獲2項資助，分別是信息功能材料國家重點實驗室吳惠楨研究員申請的《新型立方相MgZnO納米高K材料研究》和半導體薄膜工程中心劉波博士申請的《納電子器件C-RAM關(guān)鍵材料制備工藝》，2個項目合計獲資助55萬元。
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