大直徑SOI材料技術研究通過“863”計劃中期檢查

近日，國家“863”計劃超大規(guī)模集成電路配套材料重大專項辦公室中期檢查專家組一行10人蒞臨上海微系統(tǒng)所新傲公司，對公司承擔的“863”計劃重大專項“大直徑SOI材料技術研究”進行中期檢查。

    該專項主要負責人之一、新傲公司技術發(fā)展中心主任張苗博士代表公司向檢查組匯報了項目進展。與會專家視察了公司SIMOX生產線，對項目執(zhí)行情況進行了認真細致的檢查。公司總經理王曦博士、總工程師林成魯研究員參加了專項檢查匯報會。

    檢查組全體專家一致認為，新傲公司嚴格按照項目合同所規(guī)定的時間節(jié)點，出色地完成了項目中期應達到的所有指標，“863”計劃將按規(guī)定對新傲公司承擔的重大專項給予滾動經費支持。專家組意見表明，新傲公司以優(yōu)異的成績通過國家“863”計劃中期檢查。

    新傲公司承擔的另一個“863”計劃項目“光子集成SOI材料規(guī)模化生產技術”，在今年上半年的檢查中也獲得了較高的評價，“863”計劃予以追加經費的支持。