千噸級多晶硅生產技術獲新突破 填補國內空白

6月2日，由洛陽中硅高科承擔的三個國家“十一五”科技支撐計劃課題——“大型三氯氫硅合成、提純工藝技術與關鍵裝置研究”、“高效加壓還原爐系統研究”、“大型低溫加壓四氯化硅氫化技術與裝置研究”和一項參與完成的課題“多晶硅標準、專利體系建設與研究”，順利通過了驗收評審。這四項科技成果解決了規模化多晶硅生產中的瓶頸問題，打破了國外技術封鎖，填補了國內空白，標志著我國千噸級多晶硅生產集成工藝技術又獲新突破。

　　驗收評審會由國家科技部和中國電子材料行業協會組織召開。專家組成員在深入實地考察了課題現場后，經過認真質疑和討論，一致同意以上四個項目通過驗收。

　　多晶硅是集成電路和光伏發電用關鍵原材料，是國家重點鼓勵發展的產品和產業。為滿足集成電路與光伏發電產業對高純多晶硅材料的迫切需求，2006年科技部啟動了“十一五”國家科技支撐計劃“多晶硅材料產業關鍵技術開發”重點項目，中硅高科承擔、參與完成了上述四項課題。

　　據介紹，這些研發成果在年產1000噸多晶硅生產線上推廣應用后，運轉狀況良好，提高了多晶硅生產單爐和綜合產能，大大降低了生產成本，提高了產品質量，有力提升了我國多晶硅產業綜合競爭力，使我國多晶硅生產進入世界大國、強國行列。