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設備介紹
單軸單工位的結(jié)構(gòu)設計
可適用大部分的晶圓加工要求，兼顧整面磨削和留邊磨削
主要參數(shù) 規(guī)格 單位 技術指標 工件直徑 mm ?150 / ?300 磨削方式 整面磨削 / 留邊磨削 金剛石砂輪（兼容DISCO砂輪） mm ?300 砂輪軸數(shù)量 1 砂輪軸功率 kW 7.5 砂輪軸轉(zhuǎn)速 r/min 1000~4000 Z軸行程 mm 120 Z軸磨削進給速度 mm/s 0.0001~0.08 Z軸*小進給量 μm 0.1 硅片厚度測量范圍 μm 0~1800 厚度測量分辨率 μm 0.1 夾持方式 多孔真空吸盤 工件軸數(shù)量 1 工件軸轉(zhuǎn)速 r/min 10~300 磨削后TTV μm 1.5 磨削后片間厚度偏差 μm ±3 精磨后表面粗糙度 Ra 10nm 外形尺寸（W × D × H） mm 850×1760×1900 整機凈重 kg 2200
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