概述應(yīng)用

AMT深紫外皮秒激光器擁有****的四倍頻換點(diǎn)功能，能保證換點(diǎn)后光束質(zhì)量、光斑大小、光束指向性不 變，提高機(jī)器穩(wěn)定性。同時(shí)擁有全新設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)具有可靠的功率穩(wěn)定性<3%，優(yōu)越的光束質(zhì)量（M2<1.3）和**的光斑圓度（>90%）, 可輸出深紫外波長(zhǎng)266nm，功率**可達(dá)3W以上，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的激光微加工質(zhì)量。

AMT-266皮秒激光器擁有自研高性能高可靠性的核心模塊，如超快種子源、非線性晶體的高溫加熱爐等，保 證了整機(jī)系統(tǒng)的長(zhǎng)期可靠性，實(shí)現(xiàn)單點(diǎn)壽命大于1000hrs，整機(jī)壽命大于20000hrs；擁有空氣潔凈系統(tǒng)，可以對(duì)腔內(nèi)進(jìn)行清潔維護(hù)，延長(zhǎng)晶體使用壽命。

AMT深紫外激光器支持多觸發(fā)模式可選，具備同步輸出功率，內(nèi)置功率檢查模塊，是性能與穩(wěn)定性的**結(jié) 合。深紫外激光器廣泛應(yīng)用于藍(lán)寶石GaN分離、無碳化冷加工、玻璃晶粒分離等領(lǐng)域。AMT-266-3W-70M激光器主要應(yīng)用于28nm及以下節(jié)點(diǎn)制程的芯片缺陷檢測(cè)，也可應(yīng)用于大口徑光學(xué)元件表面形貌檢測(cè)、高分子 材料切割和高密度信息存儲(chǔ)等領(lǐng)域。