雙光束相移電子散斑干涉儀，是將兩束激光對稱照射到漫反射物體的同一表面，表面散射光之間產生互相干涉，通過比較變形前后的干涉圖案，可以獲得代表物體表面面內位移變化的干涉條紋。結合相移技術，可以使雙光束相移電子散斑干涉儀的面內位移測量靈敏度達到納米級。

條紋圖與應力加載曲線

由于雙光束相移電子散斑干涉儀可以方便地將物體表面的面內位移通過干涉條紋表現出來，因此，該儀器不僅是光測力學教學的必備設備，也可用于展示復雜試樣表面的面內位移分布，讓學生加深理解復雜表面的變形特征，是進行實驗教學和創新性教學重要手段。同時由于高靈敏度的測量特點，該儀器也可用于工業產品、復合材料、生物材料等特性檢測，以及高溫物體變形檢測等。