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A3-SRmapping系列在線膜厚檢測(cè)系統(tǒng)品牌
昆山勝澤產(chǎn)地
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1)和材料有關(guān)
2)測(cè)量基于Si02on si結(jié)構(gòu)
3)測(cè)量基于對(duì)于500納米Si02onSi結(jié)構(gòu)，重復(fù)30次的1階標(biāo)準(zhǔn)偏差
4)對(duì)于Si02on Si標(biāo)準(zhǔn)樣品，每天測(cè)三次，取平均值，重復(fù)30天取1階標(biāo)準(zhǔn)偏差
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