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PTPZ24 壓力變送器,采用壓阻式壓力傳感器技術,能夠精確測量壓力變化,具有良好的穩定性,
為各種電氣和工藝提供便捷的連接方式,本產品適用于在關鍵工藝系統中測量超純氣體,
接液表面光潔度優于0.2umRa,制造和組裝后,裝袋前在百級環境中用氮氣進行吹掃。
應用領域:
*沉積、刻蝕、離子注入等工藝時檢測和控制各種工藝參數
*超高純度氣體和化學品的輸送
*監測和控制半導體生產環境
*檢測芯片的可靠性和耐用性
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