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無紡布拋光墊 | ||||||
型號 | 密度g/cm3 | 壓縮率% | 壓縮彈性率% | 硬度邵氏A | 性能特點 | 應用 |
NW-70 | 0.36 | 4-5 | 90 | 72A | 耐磨不拉絲，壽命長 | 金屬、不銹鋼精拋 |
NW-75 | 0.37 | 4-5 | 80 | 76A | 軟性材質，貼合性好 | 藍寶石襯底搭配氧化硅 |
NW-80 | 0.37 | 3-4 | 80 | 80A | 搭配氧化硅，表面質量高 | 硅片、砷化鎵襯底 |
NW-90 | 0.45 | 2-3 | 70 | 90A | 搭配氧化鋁，拋光速率高 | 藍寶石、碳化硅襯底 |
無紡布拋光墊是一款毛氈狀的拋光墊，能磨出一定程度的平坦性和平滑性，性能處于聚氨酯拋光墊
和阻尼布拋光墊的中間位置。
通常被使用于粗磨或中磨。
應用領域：
半導體晶圓，藍寶石，光學鏡片，金屬等材料CMP。
定制服務：
硬度、尺寸、溝槽等可按需求定制。
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