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TFX4000OCD——光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測品牌
睿勵科學(xué)產(chǎn)地
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光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測產(chǎn)品基于光學(xué)膜厚量測平臺,搭載自主研光學(xué)關(guān)鍵尺寸量測產(chǎn)品基于光學(xué)膜厚量測平臺,搭載自主研發(fā)算法功能,可應(yīng)用于顯影后檢查(ADI)、刻蝕后檢查(AEI)等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度(SWA)、高度(Height)/深度等關(guān)鍵尺寸(CD)特征或整體形貌測量。
暫無數(shù)據(jù)!