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Saturn 3510品牌
中電科風華產地
山西樣本
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產品描述：應用于GaN外延片的自動化缺陷檢測。設備采用點共焦旋轉掃描的工作原理進行缺陷檢測，可以自動實時對焦和多通道采集數據，具有低噪聲和高分辨率成像等優勢，采用基于深度學習的自動缺陷檢測算法，晶圓檢測與數據分析能夠并行處理，滿足4、6、8英寸晶圓的生產檢測與器件良率提升的需求。
產品參數：
應用范圍：GaN外延片自動化缺陷檢測
可測晶片尺寸：4,6,8英寸
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