產(chǎn)品簡述

• 我公司生產(chǎn)的減薄砂輪可替代進口產(chǎn)品，在國內(nèi)外磨床上穩(wěn)定使用，砂輪磨削性能優(yōu)越。

• 指標：規(guī)格

• 輪體尺寸：OD(200/250/300mm)

• 粘合劑：陶瓷

• 型號目數(shù)：2000#/8000#/30000#

• 磨損比： 0.1 /0.5 /0.8

• 加工表面粗糙度：＜15nm /＜3nm /＜0.8nm

• 齒表面形貌：25x3.5x6mm（長方體狀）

產(chǎn)品概述

我公司生產(chǎn)的碳化硅晶圓減薄砂輪可替代進口產(chǎn)品，在國內(nèi)外磨床上穩(wěn)定使用，砂輪磨削性能優(yōu)越。

應(yīng)用領(lǐng)域

加工對象：碳化硅襯底、外延、封裝前背減
通過各種結(jié)合劑與不同顆粒大小的組合，實現(xiàn)晶圓超薄磨削加工的穩(wěn)定性。
在工藝上滿足同等原設(shè)備加工效率以及同樣產(chǎn)品質(zhì)量情況下壽命與進口產(chǎn)品相當。

產(chǎn)品特點

粗研削加工:
加工時，穩(wěn)定性好，電流低，砂輪損耗小。磨出產(chǎn)品紋理均勻，Ra小于15nm;

精研削加工:
通過特殊的陶瓷結(jié)合劑及先進的制造工藝研發(fā)的砂輪塊，磨削一致性好。在產(chǎn)品磨削到鏡面后，仍能持續(xù)穩(wěn)定地繼續(xù)磨削，Ra小于1nm.可以直接氧化硅精拋，省一道氧化鋁粗拋。

產(chǎn)品規(guī)格及驗證參數(shù)