溫室氣體監測設備分別由氣態污染物監測子系統、顆粒物監測子系統、煙氣參數監測子系統和數據采集處理與通訊子系統組成。

氣態污染物監測子系統主要用于監測溫室氣體污染物CO2、CH4、N2O等濃度和排放總量。

煙氣參數監測子系統主要用來監測煙氣流速、煙氣溫度、煙氣氣壓、煙氣含氧量、煙氣濕度等，用于溫室氣體排放總量的積算和相關濃度的這算；

數據采集處理與通訊子系統由數據采集器和計算機系統構成，實時采集各項參數，生成各濃度值對應的干基、濕基及折算濃度，生產日、月、年的累積排放量，完成丟失數據的補償并將報表實時傳輸到主管部門（或DCS）。

        溫室氣體監測設備系統組測圖                                          溫室氣體監測設備系統流程圖