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| 大口徑元件缺陷多模態檢測儀 | |
| 型號 | MMDI-2000-LA |
| 樣品尺寸 | ≤500mm x 500mm |
| 檢測模式 | 激光散射、光熱吸收、明場顯微成像、暗場顯微成像、激光共聚焦顯微 成像五種。可根據用戶需求定制不同組合模式 |
| 缺陷檢測靈敏度 | ≤0.3μm |
| 光熱吸收檢測靈敏度 | 10ppb |
| 光熱吸收缺陷檢測靈敏度 | ≤10μm |
| 光熱吸收泵浦光源 | 355nm、532nm、1064nm或定制波長 |
| 顯微成像檢測橫向分辨率 | ≤1μm |
| 激光共聚焦缺陷檢測靈敏度 | ≤0.3μm |
| 激光共聚焦缺陷橫向分辨率 | ≤0.5μm |
| 激光共聚焦缺陷縱向分辨率 | ≤1μm |
大口徑元件缺陷多模態檢測儀(MMDI-2000-LA)，結合全口徑缺陷快速識別與子孔徑高靈敏度、高分辨率顯微成像的檢測方式，可利用激光散射對大口徑光學元件進行全口徑快速掃描成像，對缺陷尺度、位置、形態進行統計分析，并結合使用光熱弱吸收、明場顯微成像、暗場顯微成像、激光共聚焦顯微成像等不同模態檢測用戶關注缺陷區域，獲得關注區域的缺陷信息。
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