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技術參數 | |
生長工藝 | HVPE法 |
產品類型 | 非標定制 |
加熱方式 | 電阻式加熱 |
**溫度 | 1100℃ |
恒溫區尺寸 | 100mm |
控制方式 | PLC集成控制 |
系統真空檢漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷卻方式 | 循環水路系統 |
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