2

名稱

單晶硅爐

3

電源電壓

380V

4

電源頻率

50Hz

5

加熱方式、加熱組件

電阻加熱、石墨加熱器

6

主加熱器**功率

165KW

7

主加熱器**加熱電壓/電流

55V/3000A

8

輔加熱器**功率

60KW

9

輔加熱器**加熱電壓/電流

50V/1200A

10

整機功率

≤240KW

11

爐內**溫度

1600℃

12

冷態爐內極限真空度

﹤3Pa

13

生長晶體的直徑范圍

≦10″

14

熔料重量

Max  370kg

15

原料

多晶硅原料

16

主爐室尺寸

Ф1200×1400mm

17

旋轉閥通徑

￠360

18

副室+操作室尺寸

￠360×4600mm

19

籽晶拉速范圍

0.1～10mm/min

20

籽晶快速

≥500mm/min

21

籽晶轉速范圍

2-30rmp

22

坩堝升速范圍

0.02～1mm/min

23

坩堝轉速范圍

1-30rpm

24

籽晶在副室內有效行程

≥4000mm

25

主機總高

10242mm

26

主機占地面積

2518mm×1700mm

27

整機占地面積

5500mm×6500mm

28

進水量的要求（壓力）

**0.40Mpa 壓差0.2Mpa

29

冷卻水用量/臺

>25 m3/h

30

冷卻水進水溫度

25-28℃

31

氬氣用量/臺

0.3Mpa~0.7Mpa≈110L/min