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低脈動
獨特的系統驅動機制，確保氣囊**運動效果，將脈動減到*低。
減低壓縮空氣消耗量
在不影響泵的性能下，減少高達30%的壓縮空氣消耗量。
高持續壓力
**的氣囊運動，有效提高壓力的承受能力，以維持穩定的流量和負載頻繁變化下的吐出壓力，
尤其在單晶圓處理過程中。
無需阻尼器
泵的運作無需使用阻尼器，節省設備空間及安裝費用，例如氟塑料接管等。
整體設備的重量/尺寸得以*小化。
FLP-60W | FLP-75W | |||||
**吐出量 | 50 | 92 | ||||
**脈動范圍 | 0.06 MPa | |||||
液體溫度范圍 | 5-100°C | 101-150°C | 150-180°C | 5-100°C | 101-150° | 150-180°C |
**液體粘度 | 50 mPa?s | |||||
吸程 | 1 m | |||||
環境溫度/濕度 | 0~40°C (非冷凝)/ 30~60°C (非冷凝) | 0~60°C (非冷凝) / 30~60°C (非冷凝) | ||||
儲存溫度/濕度 | -10~60°C (非冷凝) / 20-70°C (非冷凝) | |||||
重量 | 22 kg | 42 kg | ||||
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