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半自動臺階儀 JS100B品牌
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國產半自動臺階儀JS100B/200B/300B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。JS100B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。
特點
量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設計、售后便捷、極高性價比
應用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計劃任務和多點掃描
系統組成
▲ 一體式臺階儀
選配品
▲ 高度校準標樣
技術參數
軟件界面
掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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