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鎂伽全自動 〇verlay 量測設備 MRS-OM40，適用于光刻制程單面、雙面、紅外 Overlay 自動量測，配置可見光和紅外光顯微成像系統，具備高速、高精度、多功能量測能力，是 MEMS 晶圓廠、芯片制程黃光區進行產品良率管理的關鍵設備。
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