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特征：
線寬窄；
光束質量好，焦點光斑小，實現超細加工；
熱影響面積小，不產生熱效應；
結構緊湊，體積小巧；
應用：
OLED屏幕切割、打孔；
LIBS光譜儀，拉曼光譜儀；
基因測序等醫療生物領域；
激光晶體 | Nd:YVO4 | Nd:YVO4 | Nd:YVO4 | Nd:YVO4 |
波長 | 266nm | 266nm | 213nm | 213nm |
功率 | 0.5W | 1.5W | 0.2W | 0.5W |
工作頻率 | 30kHz | 30kHz | 10kHz | 10kHz |
單脈沖能量 | 16uJ | 50uJ | 20uJ | 50uJ |
脈沖寬度 | ＜20ns | ＜25ns | ＜20ns | ＜20ns |
重頻頻率 | 10kHz~100kHz | 10kHz~100kHz | 10kHz~100kHz | 10kHz~100kHz |
光束質量 | ＜1.5 | ＜1.5 | ＜1.5 | ＜1.5 |
光斑圓度 | ＞80% | ＞80% | ＞80% | ＞80% |
脈沖穩定性 | ＜5% | ＜5% | ＜5% | ＜5% |
偏振方式 | 水平 | 水平 | 水平 | 水平 |
冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
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