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其他金屬電熱元件：
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垂直氧化系統用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域，6"、8"晶圓的氧化、合金、退火等工藝。
產品性能：
*垂直結構，高效產能，150片/批
*穩定優良的成膜均勻性，重復性好
*微環境低氧控制先進技術
*硅片顆粒度控制穩定，國際標準
*全自動流程，盒對盒，AGV對接
配套工藝：
*氧化：干氧/濕氧（DCE, HCL）
*氮、氫退火，燒結、合金，固化等
*快速熱退火
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