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PECVD系統(tǒng)
PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

BTF-1400C-D-CVD

品牌

貝意克

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無(wú)
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會(huì)員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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電話詢價(jià)
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    碳化硅
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1400℃
  • 額定溫度:

    ≤1300℃
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一、產(chǎn)品特色

1、開(kāi)啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料,配S型熱電偶,單點(diǎn)控溫;設(shè)備升降溫控制靈活、加熱爐可開(kāi)啟方便客戶更換維修反應(yīng)管

2、氣路系統(tǒng)可精確控制4路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,另外單獨(dú)2路氣體可精確控制進(jìn)入蒸發(fā)器中作為載氣參與反應(yīng)。氣路管路及閥門(mén),精工件都采用316L材質(zhì)。

3、反應(yīng)管組件

反應(yīng)管組件使用耐高溫剛玉管,石英管兩端安裝可旋轉(zhuǎn)磁流體,采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

4、射頻組件

大功率射頻發(fā)生器,配合石英反應(yīng)管可使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光區(qū)域,反應(yīng)均勻。

5、蒸發(fā)系統(tǒng)

采用可控溫油浴加熱配合保溫伴熱的形式,確保蒸發(fā)源有足夠的反應(yīng)溫度

6、真空系統(tǒng)

雙真空泵聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu),配合尾氣中和罐,可對(duì)實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行處理

7、智能控制系統(tǒng)          

采用智能PID模糊控制,30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能。


二、技術(shù)參數(shù)

**溫度

1400℃

持續(xù)工作溫度

≤1300℃

升溫速率

≤10℃/min

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅碳棒

熱電偶

S型

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),人工智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

加熱總功率

≤20KW

加熱區(qū)尺寸

350+400+350mm

真空度

≤5pa

射頻功率

1000W

設(shè)備尺寸

3000*600*1500mm

設(shè)備重量

約1000KG


創(chuàng)新點(diǎn)

暫無(wú)數(shù)據(jù)!

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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無(wú)評(píng)論!
公司動(dòng)態(tài)
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