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晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備品牌
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設(shè)備針對(duì)化合物半導(dǎo)體晶圓外延片及襯底表面因制造過(guò)程中的產(chǎn)生的缺陷檢測(cè)。
兼容2-6英寸產(chǎn)品尺寸
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