ALICAT 氣體質量流量計-便攜式 62/62A系列

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優于1%的精度，測量范圍廣，優于10ms響應時間

產品特色

● 續航時間達 18小時

● 數字化產品

● 主體材質可選鋁，更優越的導熱性能和便攜性

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：可優于0.5%讀數

● 可測范圍廣，0.01~100%滿量程

● 響應時間快，優于10ms

● 內置98種氣體

● 可現場標定混合氣體（*多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 6000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標升級：

質量流量普通精度    ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取**值）

質量流量高精度       ± 0.5% 讀數或± 0.1% 滿量程（取**值）

重復性                      ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）

質量流量零點漂移    ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質量流量量程漂移    ± 0.01%讀 數/ ℃溫差

                                ± 0.1 %讀 數/ Atm壓力差