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1600℃多源高溫CVD系統
1600℃多源高溫CVD系統

參考價格

面議

型號

BTF-1600C-CVD-D2

品牌

產地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設備技術有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產商

工商已核實

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核心參數
  • 額定溫度:

    ≤1350℃
  • 非金屬電熱元件:

    硅鉬棒
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結氣氛:

    氮氣
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1600℃
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一、設備簡介

BTF-1600C-CVD-D2是一臺非標定制的多源高溫CVD系統。本設備按客戶要求加裝剛玉管一支,加熱爐,循環泵、排風系統、機架等。電氣控制采用內置控溫儀表,其控溫精準且操作直觀簡便。儀表采用國內**品牌,質量精確可靠。爐管為剛玉管,外徑¢60m,長度1000mm。爐管橫放固定于爐膛內。左端法蘭為進氣端,配有壓力保護組件和2個進氣口,其中一路由截止閥控制,為進混氣;另外一路為環硼氮烷,通過電磁閥+單向閥控制;右端法蘭為出氣端,配有蝶閥控制的壓力控制系統和真空泵組成,法蘭前端配有攪拌機構,對于尾端沉積物料具有清理作用,同時配有過濾組件。設備進氣端液態源蒸發組件制冷制熱由循環泵工作,通過循環泵工作,以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實現低溫、高溫下的切換。液態源密封腔室和加熱爐密封腔室,均通過PVC管道連接至腔室頂部,通過管道風機與客戶排風系統對接。本設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。爐體和門板顏色采用深灰+時尚橘紋白。設備簡約又不乏穩重,更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。


二、技術參數

額定功率

6.5KW

額定電壓

 AC 220V 50/60Hz

**溫度

1600℃

使用溫度

≤1350℃

推薦升溫速率

1400℃以下≤10℃/min;1400℃-1600℃≤5℃/min

控溫方式

模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制

加熱區長度

300mm

爐管尺寸

剛玉管Φ60×1000mm

熱電偶

B型熱電偶

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅鉬棒(6根)

爐體尺寸

1930*1450*1935mm

凈重

500Kg


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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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