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結(jié)構(gòu):主要由艙體，閥門及運(yùn)動模塊，真空系統(tǒng) ，電控模塊，空壓機(jī)組成。功能:將鍍料氣化成原子、分子或使其離化為離子，直接沉積到基體表面上。
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