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主要技術(shù)參數(shù):研磨拋光**晶圓尺寸4英寸;盤速5-100rpm;滴料1-100ml/min均勻可調(diào);無動(dòng)力閥門供料;擺臂擺動(dòng)幅度0-15度可調(diào);擺臂擺動(dòng)速度均勻可調(diào);.全液晶屏控制。
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