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EVG 560晶圓鍵合系統(tǒng)品牌
亞科電子產(chǎn)地
北京樣本
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產(chǎn)品簡介：
EVG 560是一款全自動多腔室晶圓鍵合系統(tǒng)。
主要特點及參數(shù)：
·**支持12英寸（300mm）晶圓
·*多兼容4個鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內(nèi)的EVG機械/光學(xué)對位裝置
·擁有獨立的底部冷卻系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介：
EVG 560是一款全自動多腔室晶圓鍵合系統(tǒng)。
主要特點及參數(shù)：
·**支持12英寸（300mm）晶圓
·*多兼容4個鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內(nèi)的EVG機械/光學(xué)對位裝置
·擁有獨立的底部冷卻系統(tǒng)
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