非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
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籽晶驅動單位
提升速度： 0-20 in / hr(0-508mm/hr)
轉速： 0-50 rpm
廠務要求
電源電壓：380 V±10%
頻率：50 Hz
加熱功率：250 KW預留雙加熱器
環境溫度：5~40
相對濕度：＜70%
入口端**水溫：25℃
*小流量：350 L/min
入口出口壓力差：＞1.5kg/cm2
主氬氣流量：200 slpm
吹掃流量：100 slpm
合計：300 slpm
推薦壓力：＞4.5 kg/cm2
壓縮空氣
推薦壓力：＞5.5 kg/cm2
控制系統
全自動生長控制過程
標準PLC/PC控制
選項Options
多晶硅進料系統
真空泵
真空過濾系統
取晶車
坩堝裝卸系統
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