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SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐品牌
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◆ 設備采用TSSG法長晶，可獲得更高質量的晶體；
◆ 配備CCD晶體直徑監測系統、厚度監測系統，實時監測晶體生長狀態以提升長晶效率；
◆ 配合擴徑工藝，可實現大尺寸碳化硅單晶生長，同時可獲得高載流子濃度的P型碳化硅單晶。
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