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| 二氯二氫硅（SiH2Cl2） | |
| 化學式 | SiH2Cl2 |
| 中文名稱 | 二氯二氫硅 |
| 英文名稱 | Dichlorosilane，DCS |
| CAS No. | 4109-96-0 |
| 分子量 | 101.01 |
| 充裝量 | |
| 應用 | 半導體外延和化學氣相沉積工藝中的硅源氣體。有機硅化合物的生產。 |
| 產品規格 | ≥99.95% |
百科：
二氯二氫硅，常溫下呈液化氣體,25℃液體密度1.25kg/L,極易水解,在空氣中冒白煙,有鹽酸氣味,水分存在下有極強的腐蝕性。
在空氣中易燃，100℃以上能自燃，燃燒后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時會自行分解而生成鹽酸。氯氣、氫氣和不定性硅。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。與堿、乙醇、丙酮起反應。即使接觸少量鹵素或其他氧化劑也會發生激烈反應。
二氯硅烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產物氯化氫引起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起咳嗽、呼吸道發炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚并導致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學灼傷。液態二氯硅烷也可引起冷灼傷。
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