VSParticle-P1 納米印刷沉積系統(tǒng)

氣溶膠納米噴印

納米印刷是柔性電子領(lǐng)域重要的區(qū)域性沉積技術(shù)， VSP-P1 采用特別的氣溶膠沖壓沉積技術(shù)，將原材料通過火花燒蝕的方式轉(zhuǎn)變成納米級氣溶膠顆粒，并在真空系統(tǒng)配合下實(shí)現(xiàn)圖案的繪制。該方法避免了傳統(tǒng)噴墨打印需要導(dǎo)電油墨以及后續(xù)熱處理去除油墨的弊端，保證圖案的納米結(jié)構(gòu)較大程度的保留，避免產(chǎn)生氣孔等缺陷。

運(yùn)行原理

氣溶膠顆粒會通過火花燒蝕的方式在前端產(chǎn)生，顆粒經(jīng)由惰性氣體帶動運(yùn)輸至噴嘴處，經(jīng)過真空系統(tǒng)作用，腔室的氣壓會保持在 10mbar 以下，而經(jīng)由噴嘴噴出的氣溶膠會在基底表面沖壓沉積。而利用 XYZ 軸控制噴嘴的移動，即可實(shí)現(xiàn)圖案的繪制。

利用該方法，可輕松實(shí)現(xiàn)：

1.  金屬，合金，氧化物顆粒的印刷沉積

2.  無添加劑，無廢液

3.  一步沉積，設(shè)備模塊化，前端的氣溶膠發(fā)生器可獨(dú)立拆卸工作，進(jìn)行其它方向的納米研究

4.  顆粒初始粒徑可保持在 0-20nm 之間，形成多孔結(jié)構(gòu)

應(yīng)用領(lǐng)域

· 高通量合金催化劑的篩選

利用氣溶膠噴印在多個(gè)通道打印沉積比例不同的合金催化劑，從而快速考查電催化性能。該方法可用于在工業(yè)相關(guān)電流密度下的流體力學(xué)條件下制備和篩選電極材料，可用于確定**催化劑和催化劑制備的穩(wěn)健性。Ni / Fe 的復(fù)合電極被用于進(jìn)行驗(yàn)證，64 個(gè)不同比例的催化陽極電極在快速篩選后可得到反應(yīng)電位的變化。

SERS

表面增強(qiáng)拉曼光譜需要精細(xì)的 Au, Ag 等納米結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)對低信號量化學(xué)物質(zhì)的靈敏檢測。利用氣溶膠噴印技術(shù)在基底表面快速繪制納米圖案，進(jìn)行拉曼光譜檢測。這種方法避免添加劑對檢測的干擾，在較低的溫度處理后便可進(jìn)行后續(xù)檢測。

納米印刷結(jié)構(gòu)

在對羅丹明 6G，PMBA，三聚氰胺的檢測中，標(biāo)準(zhǔn)基片表現(xiàn)出了優(yōu)異的信號增強(qiáng)性能。

氣體傳感器

金屬氧化物 (MOX) 氣體傳感器通過半導(dǎo)體金屬氧化物薄膜的電阻變化來檢測氣體，但氧化物涂層需要溫和的沉積，故而常用的 PVD 與 CVD 手段均不適用。現(xiàn)有方法為利用溶膠凝膠法結(jié)合絲網(wǎng)印刷實(shí)現(xiàn)區(qū)域的沉積。利用氣溶膠噴印直寫可以實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的印刷沉積，避免熱處理。