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儀器簡(jiǎn)介：
擁有齊全的納米系列壓印膠材料，熱壓型納米壓印膠、熱塑型納米壓印膠、紫外光固化型納米壓印膠、紫外光固化納米壓印和光刻兩用膠、舉離型傳遞層材料、刻蝕型傳遞層材料、各種與納米壓印技術(shù)相關(guān)的化學(xué)藥品，如模板防粘劑、基片增粘劑等。適用于Obducat，Suss，HP，EVG等多種型號(hào)的納米壓印設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)：
| IPNR-T1000 | Thermal plastic nanoimprint resist 熱塑型納米壓印膠 |
| IPNR-T2000 | Thermal curable nanoimprint resist 熱固化型納米壓印膠 |
| IPNR-PC1000 | Photo-curable nanoimprint resist (Free radical initiation) 光固化型納米壓印膠（自由基引發(fā)） |
| IPNR-PC2000 | Photo-curable nanoimprint resist (cation intiation) 光固化型納米壓印膠（陽(yáng)離子引發(fā)） |
| IPNR-UL1000 | Under-layer polymer for lift off process 舉離型傳遞層材料 |
| IPNR-UL2000 | Under-layer polymer etching mask process 刻蝕型傳遞層材料 |
| IPNR-UPM | Quick mold fabrication material 快速模板制作材料 |
| IPNR-AP | Chlorosilane based adhesion promoter 氯硅烷增粘劑 |
同時(shí)還能能夠根據(jù)不同的模板提供相應(yīng)的防粘試劑。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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