監測工具。它可以通過非常小的掠射角將能量為10～30KeV的單能電子掠射到晶體表面，通過衍射斑

點獲得薄膜厚度，組分以及晶體生長機制等重要信息。因此反射高能電子衍射儀已成為MBE系統中

監測薄膜表面形貌的一種標準化技術。

　　R-DEC公司生產的反射式高能電子衍射儀，以便于操作者使用的人性化設計，穩定性和耐久性以

及擁有高亮度的衍射斑點等特長得到日本國內及海外各研究機構的一致好評和認可。

特長

◆可遠程控制調節電壓，束流強度，聚焦位置以及光束偏轉

◆帶有安全閉鎖裝置

◆鎳鐵高導磁合金磁屏蔽罩

◆擁有高亮度衍射斑點

◆電子槍內表面經特殊處理，能實現極低放氣率

◆經久耐用，穩定可靠

◆符合歐盟RoHS指令

　　低電流反射高能電子衍射儀（Low Emission Reflection High-Energy Electron Diffraction）是利用微通道板技

術，大幅減少對樣品損傷的同時，并且保證明亮反射電子衍射圖像的新一代低電流反射高能電子衍射儀。可以用于有機薄膜材料等結晶結構的分析研究。

特長

◆大幅度減少電子束對樣品的損傷

（相當于普通RHEED的1/500-1/2800）

◆帶有安全閉鎖裝置

◆搭載高亮度微通道板熒光屏

◆可搭載差動抽氣系統

◆kSA400 RHEED分析系統兼容

◆符合歐盟RoHS指令