二次質(zhì)譜儀（SIMS）是*前沿的表面分析技術(shù)。確立于40多年前，它揭示了極表面

和近表面的原子層的化學(xué)組成。這種信息遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了為鑒定有機(jī)組成部分的分子結(jié)

構(gòu)所需的簡(jiǎn)單元素分析。

應(yīng)用：

單分子層水平表面信息　　薄膜縱剖面分析

所有元素檢測(cè)　　　　　　有機(jī)物質(zhì)鑒定

表面污染鑒定 高靈敏度分析　　　　　　

快速化學(xué)組分成像等表面分析領(lǐng)域

技術(shù)參數(shù)：

■ There are three modes of detection：

Static SIMS (surface analysis)

High energy primary ions are used to dislodge secondary ions from the surface molecular layers. These ions are analysed by mass spectrometry， producing a spectrum to identify both organic and inorganic species.

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Imaging SIMS (spatial analysis)

Scanning the focused primary ion beam over the sample surface builds up an image showing the distribution of any species.This is ideal for analysing the uniformity of coatings or the composition of small features.

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Dynamic SIMS (depth analysis)

By concentrating the primary beam into a small area， the surface layers are progressively etched away. This produces an analysis of the subsurface region， monitoring the thickness and composition of thin films.

主要特點(diǎn)：

SIMS一個(gè)主要的特征是對(duì)表面（固定SIMS）的固定區(qū)域的原位分析。掃描聚焦探測(cè)

光束（影像SIMS）生成一個(gè)表面成分圖僅需幾秒鐘（而不是幾分鐘）。延展的分析

通過深度刻蝕表面而顯示表層下面變化的組成（動(dòng)態(tài)SIMS）。所有這些能在只需少

量而不需任何樣品準(zhǔn)備的情形下操作成功，并且具有高靈敏度，同時(shí)可使分析時(shí)間

降至*短。

Millbrook MiniSIMS是在一個(gè)緊湊的半開式可移動(dòng)儀器中開發(fā)的SIMS功能技術(shù)。

僅需一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的主電源以供操作，放置極為方便。完全的計(jì)算機(jī)控制使得操作簡(jiǎn)

便，并且自動(dòng)獲得數(shù)據(jù)。通過英特網(wǎng)的遠(yuǎn)距離控制使您使用SIMS更為方便。

MiniSIMS使得室內(nèi)表面分析儀器，在很大范圍的情形下成為一種操作簡(jiǎn)便經(jīng)濟(jì)實(shí)

用的方式，低成本的資金和維護(hù)費(fèi)用以及高的樣品產(chǎn)出，意味著每個(gè)樣品的總費(fèi)用

要比使用傳統(tǒng)的SIMS儀器減少90%