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規(guī)格＆應(yīng)用：
-主室尺寸 215，230（dia）；ISO 100（旋轉(zhuǎn)法蘭，渦輪泵）
-80mm樣本卡盤，均勻性好
低漏泄電流-10fa以下
陶瓷背部：用于背部偏置或隔離 MBG25，MBG40
-真空范圍：1x10E 3 or 6 torr
-溫度范圍：77K~570K，LN2（溫度選項：770K可用）
-260(10K)~300(570K)，780K，1000K.氦氣
-顯微鏡＆CCD攝像機(jī)
-真空定位器支架
-真空泵及計量系統(tǒng)
-根據(jù)用戶需求.....（可定制）
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