一種能自動(dòng)實(shí)時(shí)測(cè)量擴(kuò)散結(jié)深的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng).該系統(tǒng)是對(duì)磨槽機(jī)在硅片上的磨槽進(jìn)行測(cè)量來(lái)獲得擴(kuò)散結(jié)深數(shù)據(jù)的.

技術(shù)參數(shù)：

1，測(cè)量方式

實(shí)時(shí)影像測(cè)量，無(wú)須拍照后測(cè)量

2，測(cè)量模式

自動(dòng)測(cè)量，無(wú)須鼠標(biāo)取點(diǎn)或取邊

3，統(tǒng)計(jì)功能

**值、*小值、平均值、極差、方差、標(biāo)準(zhǔn)差、離散系數(shù)等；同時(shí)處理多個(gè)管制項(xiàng)目；實(shí)時(shí)顯示統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，并可以根據(jù)用戶要求增加統(tǒng)計(jì)項(xiàng)目

報(bào)表系統(tǒng) 采用智能化選擇性數(shù)據(jù)輸出技術(shù)，實(shí)現(xiàn)“待測(cè)工件→測(cè)量參數(shù)→專用報(bào)告→品管統(tǒng)計(jì)”數(shù)據(jù)流自動(dòng)化

主要特點(diǎn)：

快速，實(shí)時(shí)，精確，可靠