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146i 型多種氣體校準儀
在局域網上可被遠程訪問
大屏幕液晶顯示
用閃存增強數據存儲性能
優化的設計加強了電路的通用性和集成性
易于維護的內部布局
配有質量流量稀釋系統
配有產生O3和NO2的氣相滴定裝置
可配產生SO2、NO2、H2S、NH3等氣體的滲透爐
流量測量準確度 | ±2%讀數或1%滿度值，以較低者為準（20至100%滿度值） |
流量測量線性 | 0.5%滿度值 |
流量測量重復性 | ±2%讀數或1%滿度值，以較低者為準（20至100%滿度值） |
零氣流量 | 5或10（準標）或20slm |
標氣流量 | 50或100（標準）或200sccm |
滲透透爐溫度 | 30或35或45℃±0.1℃ |
臭氧源輸出濃度 | 1ppm@6 SLPM(穩定性和重復性滿足或超過U.S. EPA 的要求） |
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