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一套OPSIS 系統可以監測多種物質。通常監測的氣體，諸如為了符合電子廠的某些特別需求，監測HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……
應用原理：差分吸收光譜法（DOAS）
系統結構：
監測項目：序號 | 監測項目 | 分析方法 | 供應廠商 |
1 | HCL | DOAS | 瑞典 OPSIS |
2 | HF | DOAS | 瑞典 OPSIS |
3 | CL2 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
4 | 苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
5 | 甲苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
6 | 二甲苯 | DOAS | 瑞典 OPSIS |
7 | …… |
技術特點：
主要設備：
| DOAS 分析儀 | DOAS 接收/發射端 |
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環境空氣苯系物在線監測系統，可參見“苯系物氣體在線監測系統”
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