瞬態(近紅外)激光波前畸變檢測干涉儀是將空間位相調制的共路剪切干涉技術與數字化波面高新計算技術相結合研制的新穎干涉系統，是浙江大學光電系現代光學儀器重點實驗室、楊甬英等教授集多年基礎、數年攻關完成的目前國內首臺利用干涉方法僅需單幅干涉圖就可以高分辨率檢測各類高、低功率的脈沖激光、連續光波前畸變、檢測各類高精度大口徑精密表面的面形、動態檢測各種流體的變化等。儀器抗噪、抗干擾性好特別適合于現場的實時檢測。波前及面形的檢測分辨率高，可高精度測量較大的波前畸變量，可以用于瞬態圖象高速采集及檢測。波前檢測軟件輸出信息量豐富、可適用于不同波段的可見光、紅外波段的檢測。經權威單位與ZYGO干涉儀比對測試，近紅外脈沖激光波前畸變檢測的波前均方根已優于1/15波長。瞬態激光波前畸變檢測干涉儀已達到國際先進、國內**的**。

儀器技術指標：

1、應用波長：從紫外、可見光至中遠紅外波段（波長可根據用戶不同要求確定）；

2、光束接收口徑：F10mm ～用戶任定口徑；

3、儀器精度及重復性：波前均方根優于1/15波長；

4、測量范圍：波前畸變檢測量可達50 mm；

5、可用于脈沖光、連續光、各類精密表面面形測量：測量脈沖激光的脈寬可達1ns；

6、光學系統具有高激光損傷閾值；

7、高分辨率數據采集系統:科學級CCD相機，空間分辨率至1024×1024以上或用戶定；

8、儀器利用共路剪切干涉技術，抗振動性好，可放于任何工作臺現場使用；

9、光束波前診斷軟件包：

給出檢測波前位相（可以是光束波前、面形或流體的形變等）的三維圖形、等高圖、波前畸變的PV 值、均方根值、波面梯度值等；

給出表征光束能量分散度的Streh1比；光學系統象差的評價參數OTF和PSF；

軟件具有友好的圖形工作界面，工作于Windows 2000以上平臺，軟件有各類數據圖象及數據輸出功能。

應用范圍：

本儀器是動、靜態皆可檢測的系統，可應用于航空、航天、航海及國民經濟諸多領域：

1. 配備高速的CCD與圖象轉換系統，可以檢測具有較大畸變、快速變化的氣體折射率密度場、高速繞流流場，獲取高速飛行體在各個瞬間狀態的三維流場的相關參數。并且可以應用于流體顯示技術、空氣動力學方面的研究。

2. 良好的抗振性特別適合于在車間、現場進行各類精密表面面形的分析測量、不同尺寸的光學元件、硅片、金屬表面面形、非球面等各類元件的精密檢測。

3. 可以檢測各類高能激光系統的靜態、動態波前畸變，特別為1053nm的近紅外脈沖波前檢測提供一個高精度、高分辨率的檢測結果。系統配備標準近紅外光源，可以檢測1053nm 波段的各類光學材料的透射特性參數。

圖2是系統軟件輸出界面。

圖3是已實際用于納秒級高能脈沖波前檢測的干涉圖。

圖4是納秒級高能脈沖波前重構的三維圖。