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三軸平臺
三軸平臺

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杭州譜鐳光電技術有限公司

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MacroBlock三軸撓性平臺
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特性
  • 撓性設計確保了連續平穩的移動
  • 緊湊型設計:
    • 桌面到移動載物臺的高度:62.5毫米
    • 桌面到配件光軸的距離:75毫米
  • 無滑動配件避免摩擦
  • 撓性設計避免了油脂的使用,并且增強了長期穩定性

MicroBlock™三軸移動平臺提供的連續平穩移動使得該裝置幾乎適用于所有的微定位應用。新穎的撓性設計可以產生三個互相垂直的線性移動自由度,從而避免了傳統軸承傳遞平臺的靜摩擦和摩擦造成的嚴重的限制。潤滑劑是定位裝置偏移的主要來源之一,套嵌式撓性平臺允許該平臺在不需要任何潤滑劑的情況下無限制的使用。延伸到平臺頂部安裝面的中間的鍵槽允許系統在保證準直的前提下快速重裝。Thorlabs還為該MicroBlock系統提供了很多配件。MBT616平臺具有緊湊的差動調節器,在300微米的微調范圍內提供了50納米的精度(理論值)。 MBT602平臺是經濟型的三軸撓性平臺,包括一個節距為0.5毫米的翼形螺釘調節器。

帶固定差分調節器的3軸NanoMax平臺

Related Products

特性

  • 每軸的行程為4毫米
  • 撓性設計,確保無摩擦的平滑連續運動
  • 緊湊型設計:157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米(6.2英寸x6.31英寸x2.46英寸),包含驅動器在內
  • 增強的長期穩定性
  • 所有調節器都固定在底板上,消除串擾
  • 包含壓電電纜和反饋電纜

NanoMax平行撓性平臺

當MAX300系列平行撓性平臺應用于亞微米精度的對準應用時,其優勢是顯而易見的。使用傳統的多軸層疊式平臺時,接觸兩個驅動器中任何一個不以底座為參考的驅動器都會在裝置內產生不必要的運動。相反,把NanalMax系列平臺的每個驅動器都直接耦合到平臺底座上,將會消除這些不利影響。

Common Specifications
Travel4.0 mm
Load Capacity (Max)2.2 lbs (1 kg)
Coarse Adjustment Range0.5 mm/rev
Fine Adjustment50 µm/rev (300 µm Range)
Piezo Specifications (MAX314 and MAX315 Only)
Piezo Voltage Range0 - 75 V
Piezo Range20 µm
Piezo Resolution (Theoretical)20 nm (5 nm with Strain Gauge)
Piezo Bidirectional Repeatability200 nm Open Loop,

5 nm Closed Loop

Piezo Absolute On-Axis Accuracy1.0 µm

精密差分驅動器

差分驅動器提供4毫米的粗調行程和300微米的細調行程,其分辨率為每轉50微米。在精密行程調整器上的刻度為要求**定位的應用提供了一個清晰的參考點。

配件的簡易對準

頂部平臺的中心鍵槽能在保持配件對準的前提下實現快速的系統重新配置。多種配件可供選擇,用于安裝顯微物鏡,準直鏡,波導和光纖等。如果需要安裝偏離中心的元件,可將帶槽頂板替換為帶有1/4英寸-20(M6)和#8-32(M4)陣列安裝孔的RB13P1轉接板(參見本頁面上方的圖)。

另外,還提供多種轉接板,可將NanoMax系列平臺安裝到一系列Thorlabs旋轉平臺和大行程線性平臺上。

總之,這些特性使得MAX300撓性平臺成為需要高穩定性和高重復性的對準應用的堅實工作平臺。

3軸NanoMax平臺,帶差分驅動和閉環壓電驅動器
Zoom
閉環壓電驅動器

20微米壓電驅動行程

5納米細調分辨率

MAX341采用直接嵌入在平臺主體內部的閉環壓電驅動器,能提供20微米的行程和5納米的定位分辨率(閉環控制)。它有三個應變計位置傳感器,將提供與壓電元件的位置成線性關系的反饋電壓信號。該信號可以用來補償遲滯、蠕變和壓電元件本身存在的熱漂移。如果用閉環控制器(比如BPC203,MPZ601,或者TPZ001和TSG001結合)驅動,壓電驅動器就能以閉環模式控制,可以把定位精度從20納米提高到5納米。此外,遲滯、蠕變和壓電器相關的漂移能通過閉環控制來監測和補償。

此外,當平臺與NanoTrak控制器(BNT001 ,MNA601,或者TNA001)耦合使用時,系統變為一個功能強大的自動對準裝置,它既能保正光通量,又能消除熱漂移和其它外部壓力引起的耦合效率的降低。

3軸NanoMax平臺,差分驅動,壓電驅動器
Zoom
開環壓電驅動器

20微米壓電驅動行程

20納米細調分辨率

MAX315采用開環壓電驅動器(該驅動器直接集成在平臺主體內),提供20微米的行程和20納米的定位分辨率。兼容的控制器有MDT693A,BPC203,MPZ601,和TPZ001。

此外,當平臺與NanoTrack控制器(BNT001,MNA601,或TNA001)結合使用時,系統變為一個功能強大的自動對準裝置,既能保正光通量,又能消除熱漂移和其它外在壓力引起的耦合效率的降低。

帶螺紋孔的頂板
Zoom

這種頂板可替代標準的帶槽頂板。它有許多13個1/4英寸-20(M6)和12個8-32(M4)的安裝孔陣列,能將通用的配件和組件轉接到平臺上。

帶步進電機的三軸NanoMax平臺

Related Products

特性

  • 每軸的行程為4毫米
  • 撓性設計,確保無摩擦的平滑連續運動
  • 緊湊型設計
  • 增強的長期穩定性
  • 所有調節器都連接到一個共同的底面和側面
  • 內附壓電和反饋電纜

NanoMax平行撓性平臺

擁有**的MAX300系列平行撓性設計的優勢是顯而易見的,特別是在要求亞微米或更高分辨率的對準應用中。通常,在多軸層疊式平臺中,接觸兩個驅動器中任何一個不以底座為參考的驅動器都會在裝置內產生不必要的運動。把每個NanalMax系列平臺驅動器直接耦合到平臺底座上,將會消除這些不利影響。

Item #MAX300 Series
Travel4.0 mm
Stepper Motor TypeDRV001
Backlash<7 µm
Max Acceleration4 mm/sec2
Max Velocity2.5 mm/sec
Min Achievable Incremental Movement60 nm
Bidirectional Repeatability500 nm
Absolute On-Axis Accuracy1.0 µm
Home Location Accuracy± 1.5 µm

步進電機驅動器

與MAX341和343平臺一起出售的DRV001控制器具有60納米的步長和高達4毫米/秒的速度,同時還提供500納米的雙向重復性。帶陶瓷頭高精度限位開關為電機復位提供了高重復性。這對依賴于高重復的零點定位的自動對準應用非常重要。

閉環內置壓電驅動器

MAX341和MAX342采用直接嵌入在平臺主體內部的壓電驅動器,提供20微米的行程和20納米的定位分辨率。MAX341還有三個應變計位移傳感器,提供與壓電元件的位移成正比的電壓信號。這個信號用于補償遲滯,蠕變,和所有壓電元件固有的熱漂移。如果用閉環控制器(如BPC203,MPZ601,或TPZ001和TSG001 組合)驅動,壓電驅動器能用反饋模式控制,將定位精度從20納米提高到5納米。此外,還能通過閉環控制監測和補償遲滯,蠕變和壓電陶瓷相關的熱漂移。把附加的壓電擴展器和DRV001步進電機驅動器組成一個系列的模塊設計,能增加壓電陶瓷的移動量。

此外,當平臺與BNT001,MNA601或者TNA001NanoTrak控制器結合使用時,這個系統將成為一個強大的自動準直器,既能保證光通量,又能消除溫度漂移或其它外在壓力引起的耦合效率降低。

配件的簡易對準

頂部平臺的中心鍵槽能在保持配件對準的前提下實現快速的系統重新配置。多種配件可供選擇,用于安裝顯微物鏡,準直包,波導和光纖等。如果需要安裝偏離中心的元件,可將帶槽頂板替換為帶有1/4英寸-20(M6)和#8-32(M4)陣列安裝孔的RB13P1轉接板(參見本頁面上方的圖)。

另外,還提供多種轉接板,用于將NanoMax系列平臺安裝到一系列Thorlabs旋轉平臺和大行程線性平臺上。

總之,這些特性使得MAX300撓性平臺成為需要高穩定性和高重復性的對準應用的堅實工作平臺。

帶移動平臺的壓電控制器

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MDT630A一個預配置的、壓電運動控制系統,配有驅動電子設備,用戶界面軟件,3軸撓性平臺,精密手動調節器和連接到系統需要的所有纜線。

該壓電控制器是我們的流行MDT693A三通道壓電驅動器,它具有以下特性:
  • 高輸出電壓(3至150伏)
  • 高電流驅動能力(60 毫安)
  • 高精度,低噪聲輸出
  • 單個通道控制或主掃描控制
  • 圖形用戶界面軟件

請注意,MDT693A可通過開關選擇輸入電壓為115或230V,并附帶一根美制電源線。

帶差分測微頭驅動的三軸滾動支座底板

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特性

  • 高負載能力:9.7磅(4.4千克)
  • 所有磨損面都采用硬化鋼構造
  • 帶凹槽的頂板確保配件的對準
  • 提供多種配件
  • 左手系或右手系的版本可供選擇
  • 可升級到壓電輔助的測微頭
Item #RB13D
Travel X-Y-Z1/23 (13 mm)
BearingsCross Roller
Max Load9.7 lbs (4.4 kgs)
Coarse Adjustment Range13 mm Travel
Coarse Adjustment Pitch0.5 mm
Fine Adjustment Range300 µm Travel
Fine Adjustment Pitch0.05 µm

X-Y-Z整體設計

相比與其它的模塊化設計,該產品提供了更緊湊的平臺,使得該三軸移動平臺能在13毫米的行程范圍內滿足許多定位應用的要求。相比于層疊式單軸平臺構造的移動平臺,整體鋼構造設計可提高產品的使用壽命和熱穩定性。

兼容全系列的NanoMax™ 和 MicroBlock™撓性平臺配件

可移動的載物臺在三個正交方向的行程均為13毫米,溝槽狀的頂板使其能夠與全系列的光學配件相連。該緊湊型平臺的載物臺高度與Thorlabs的載物臺高度為62.5毫米的撓性移動平臺匹配。使用這個標準的載物臺高度,可以將行程更長的平臺集成到基于Thorlabs通用的撓性底座平臺,如 MicroBlock 和NanoMax 系列,建立的光學系統中。

差分測微頭

用于RB13D的TDRV304差分測微頭利用獨特的機制,將外部旋鈕相對較大的位移轉換成中心細調主軸相對較小的位移。這種設計另外的好處就是具有一致的平滑感,且不受負載的影響。提供有兩個大的旋鈕,一個用于粗調,另一個用于差分調節,因此增加該單元的整體靈敏度。粗調旋鈕提供13毫米的總位移、1微米的分辨率,而微分旋鈕提供300微米的總位移、50納米的分辨率。

可更換的頂板

可用上面提到的RB13P1轉接板替換RB13平臺的頂板。這種可供選擇的安裝板有大量的1/4英寸-20(M6 x 1.0)和#8-32(M4 x 0.7)的安裝孔,使得RollerBlock平臺可用于通用的面包板類應用中。

定制配置

對于需要精確控制的應用,可用壓電輔助差分測微頭(DRV517)取代手動驅動器。除了上文所述的標準測微頭調節器,這種驅動可提供30微米的行程,分辨率為10納米。我們也提供左手系配置,或者不帶驅動器的版本,用戶可以自己安裝第三方的驅動器。

帶差分測微頭驅動的三軸滾動支座底板
Zoom

結合了鋼質和鋁質構造的RollerBlock™移動平臺是一系列光電子應用的理想選擇。交叉滾珠軸承設計提供了9.7磅(4.4千克)的垂直負載,同時仍能保持由高精度驅動器提供的亞微米級的分辨率。

帶螺紋孔的頂板
Zoom

這種頂板可替代標準的帶槽頂板。它有許多13個1/4英寸-20(M6)和12個8-32(M4)的安裝孔陣列,能將通用的配件和組件轉接到平臺上。

帶測微頭驅動的RollerBlock三軸移動平臺

Related Products

特征

  • 高負載能力
  • 所有磨損面都采用硬化鋼構造
  • 提供多種配件
  • 左手系或者右手系可供選擇
  • 可升級成壓電驅動的測微頭
Item #RB13M
Travel1/2″ (13 mm)
BearingsCross Roller
Max. Load9.7 lbs (4.4 kgs)
Standard Micrometer13 mm travel (10 µm Graduations)

帶有手動測微頭的RollerBlock™ XYZ移動平臺

結合鋼和鋁構造的RollerBlock™移動平臺廣泛適用于光電系統,交叉的滾動軸承設計使得其垂直負載能力達9.7磅(4.4千克),高精度的驅動器使精度達到亞微米級。

小心地放置RollerBlock™中的交叉滾動軸承,保證軸承表面不受污染。與使用表面外露軸承的底座相比,這大大提高了產品的使用壽命。

xyz整體設計

相比與其它的模塊化設計,該產品提供了更緊湊的平臺,在整個13毫米的行程范圍內,能夠實現較好的定位特性。相比于層疊式單軸平臺構造的移動平臺,整體鋼構造設計可提高產品的使用壽命和熱穩定性。

兼容全系列的NanoMax™ 和 MicroBlock™撓性平臺配件

可移動的載物臺在三個正交方向的行程均為13毫米,溝槽狀的頂板使其能夠與全系列的光學配件相連。該緊湊型平臺的載物臺高度與Thorlabs的載物臺高度為62.5毫米的撓性移動平臺匹配。使用這個標準的載物臺高度,可以將行程更長的平臺集成到基于Thorlabs通用的撓性底座平臺,如 MicroBlock 和NanoMax 系列,建立的光學系統中。

可更換的頂板

可用上面提到的RB13P1轉接板替換RB13平臺的頂板。這種可供選擇的安裝板有大量的1/4英寸-20(M6 x 1.0)和#8-32(M4 x 0.7)的安裝孔,使得RollerBlock平臺可用于通用的面包板類型的應用中。

定制

Thorlabs提供左手系構造的平臺,或者不帶驅動器的版本。

光纖發射系統:基本解決方案

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Zoom

特性

  • 125至400微米裸光纖的理想選擇
  • 壓力可變的壓臂
  • 4毫米行程調節范圍
  • 包括300微米的細調,分辨率為50納米(理論值)
  • 適合任意RMS螺紋物鏡
  • 不含物鏡

MBT612具有高分辨率的差分調節器,是將自由空間激光優化耦合入單模光纖的理想選擇,即使是在可見波長光纖模場直徑僅為3微米時。它可**程度地將自由空間激光的耦合優化為單模光纖,即使是光纖的模場直徑僅為3微米的可見光。光纜應力消除的加入可防止系統的意外損壞,該特性可節省大量時間。該預設置好的光纖發射系統是理想的入門套件,可快速適應許多應用。提供的額外附件可大大增強該平臺多用途的靈活性。

Zoom

特性

  • 125至400微米裸光纖的理想選擇
  • 壓力可變的壓臂
  • 4毫米行程調節范圍
  • 包括300微米的細調,分辨率為50納米(理論值)
  • 適合任意RMS螺紋物鏡
  • 不含物鏡

MBT612發射系統具有高分辨率的差分調節器,是將自由空間激光優化耦合入單模光纖的理想選擇,即使是在可見波長光纖模場直徑僅為3微米時。它可**程度地將自由空間激光的耦合優化為單模光纖,即使是光纖的模場直徑僅為3微米的可見光。光纜應力消除的加入可防止系統的意外損壞,該特性可節省大量時間。該預設置好的光纖發射系統是理想的入門套件,可快速適應許多應用。提供的額外附件可大大增強該平臺多用途的靈活性。

Zoom

特性

  • 帶有快速釋放壓塊的頂部裝載光纖旋轉器
  • 360°旋轉,精度為2°
  • 4毫米行程調節范圍
  • 包括300微米的細調,分辨率為50納米(理論值)
  • 適合任意RMS螺紋物鏡
  • 不含物鏡

MBT621發射系統具有我們的高分辨率驅動器,是將自由空間激光優化耦合入單模光纖的理想選擇,即使是在可見波長光纖模場直徑僅為3微米時。旋轉式光纖架可提供平穩的轉動,其擺動可以忽略。當使用保偏光纖時,該系統提供一種簡單的方法優化通過PM光纖耦合的信號的消光比。

提供的額外附件可大大增強該平臺多用途的靈活性。

光纖發射系統:專業解決方案

Related Products

特性

  • 撓性設計確保平滑,無摩擦地連續移動
  • 緊湊型設計:包括驅動器157.4毫米x160.4毫米x62.5毫米(6.2英寸x 6.31英寸 x 2.46英寸)
  • 增強的長期穩定性
  • 調節器皆固定在底座,消除了串擾

NanoMax平行撓性平臺

3軸NanoMax撓性平臺是光纖耦合應用的理想選擇。該完整的光纖輸入系統可滿足很多*普遍的實驗室應用的需求。下文詳細介紹了每種輸入系統。有關這些套件所包含的平臺的更多具體細節請查看NanoMax三軸撓性平臺的介紹。

配件易對準

頂部平臺的中心鍵槽可快速重新配置系統而保持配件對準。提供各種各樣的附件,可安裝顯微鏡物鏡、準直設備、波導、光纖以及其他設備。

此外,多重轉接板可將NanoMax系列平臺安裝到各種其他的Thorlabs旋轉和長行程線性平臺上。

MAX300撓性平臺的這些特點使其成為要求高穩定性和重復性的對準應用的可靠平臺。

用于裸光纖的單模光纖發射系統
Zoom

特性

  • 適合裸光纖,透鏡光纖,帶涂覆層光纖
  • 獨特的,可變的,六角形安裝架,適合Ø125微米至Ø2毫米的光纖
  • 壓力可變的夾鉗臂
  • 平移調節范圍是4毫米
  • 包括300 微米精調,分辨率為50納米
  • 適合任意RMS螺紋物鏡
Included with the MAX350D
MAX313D3軸撓性平臺,帶固定差動驅動
AMA009固定角度支架
HCS010RMS顯微物鏡安裝座
HFF001可變V形槽光纖夾具
HFS001應力釋放纜線

裸單模光纖的MAX351光纖輸入系統具有高分辨微分調節器,適合將自由空間激光優化為單模光纖,即使是光纖的模場直徑只有3 µm的可見光。可快速釋放的光纖固定器有6個安裝面,每個面可接合一個不同尺寸的光纖。增加光纜應變消除有助于防止系統意外損傷,該特點可節省大量時間。該預先安裝好的系統是一個理想的輸入裝置,可快速適合許多應用。

X,Y和Z軸之間耦合,使調節過程中的穩定性**

當對準應用要求亞微米的分辨率,或者更好分辨率時,我們具有**的MAX300系列平行撓性移動設計的優點就非常明顯。對于多軸堆疊式平臺,觸動2個驅動中不是參考“地面”的任一個都將導致裝置的不必要的移動。NanoMax™系列平臺的任一個驅動直徑參照平臺底座,即可消除該負面影響。固定的微分驅動提供4毫米粗調和300微米的細調(每次轉動的分辨率為50納米)。粗移和精移軌道上刻有標度,是要求**位移應用的清晰的參考點。

FC連接跳線到Grin透鏡的單模光纖發射系統
Zoom

特性

  • 用于FC連接的單模光纖跳線
  • 適合直徑為1毫米至3毫米的Grin透鏡
  • 3軸平移的調節范圍為4毫米
  • 包括300微米細調,分辨率為50納米
MAX355D附帶組件
MAX313D3軸撓性平臺,帶差分驅動
AMA009固定角度支架
HGI003GRIN透鏡固定架
HFB004FC連接光纖固定架
HFS001應力釋放纜線

該系統由我們的MAX313D三軸撓性平臺配合FC適配器和Grin透鏡架組成。對于光纖輸入系統,使用嵌套式撓性板替代傳統的線性軸承具有很多優點。首先,撓性機制可得到近乎**的平滑連續移動。其次,該平臺結構不需要潤滑油。傳統軸承的較小瑕疵,或者潤滑油里的污染物都能產生局部粗糙的斑點,導致斑點處的移動分辨率顯著降低。無需潤滑劑也可**程度減小平臺蠕動。

帶快速釋放光纖旋轉器的保偏光纖發射系統
Zoom

特性

  • 4毫米行程
  • 高分辨率差分調節器
  • 高精密光纖旋轉器,360°的離心率為10微米(中心偏移量)
  • 適合任意帶RMS螺紋的物鏡
MAX361D附帶組件
MAX3133軸撓性平臺,帶有差分驅動
AMA009固定角度支架
HCS010RMS顯微物鏡安裝座
HFR007快速釋放光纖旋轉器

MAX361D光纖發射系統是為保偏裸光纖設計的,由**性能的撓性平臺和3個高分辨率雙平臺測微頭構成。這樣的組合能真正達到亞微米定位控制所要求的高分辨率和高穩定性。

該系統的HFR007光纖旋轉器刻有分度為5°的刻度。此外,快速釋放光纖壓塊可快速便捷地頂部裝載光纖。HFR007增加了優化PM光纖消光比所需的旋轉自由度。使用我們**一代的3軸移動平臺,新的MAX361保偏光纖輸入系統相對線性軸承的設計,以及其他不太先進的3軸撓性平臺具有大量改進。

該底座式移動臺使用我們具有**的高穩定撓性設計,具有獨特的特點,即3個調節器都堅固地連接到平臺主結構的固定部件上。同類產品或者由3個層疊式的獨立平臺構成,或至少設計成三個驅動器中的兩個隨平臺的可移動部件平移的單個集成系統。當驅動器被操作者的手接觸時,這種3個驅動器中有2個“浮動”的設計會引起有害的移動(以串擾的形式)。這種機械系統噪聲使其不能達到真正的納米定位。

自動對準單模裸纖發射系統
Zoom

特性

  • 裸纖,帶透鏡光纖或套管光纖的理想選擇
  • 獨特可變六角形安裝架
  • 適合Ø125微米至Ø2毫米的光纖
  • 壓力可變的壓臂
  • 4毫米平移調節范圍
  • 包括300 微米細調,分辨率為50納米
  • 適合任意RMS螺紋物鏡
MAX373D包含的組件
MAX311D帶差動驅動的3軸撓性平臺,和帶反饋的內部壓電驅動
AMA009固定角度支架
HCS010RMS顯微物鏡安裝座
HFF001可變V形槽光纖夾具
HFS001應力釋放纜線

MAX373D光纖發射系統具有高分辨率差分調節器,是將自由空間激光優化耦合入單模光纖的理想選擇,即使是在可見波長光纖模場直徑僅為3微米時。可快速釋放的光纖安裝架有六個安裝面,每個面可安放一根不同尺寸的光纖。光纜應力消除的加入可防止系統的意外損壞,該特性可節省大量時間。該預設置好的光纖輸入系統是理想的入門套件,可快速適應許多應用。

采用內部閉環壓電驅動器進行自動對準

MAX373D利用3個應變位移傳感器產生電壓信號,該電壓與壓電元件的位移成線性關系。利用該電壓信號,可彌補壓電元件固有的磁滯,蠕變或熱漂移效應。此外,位移傳感器與我們的NanoTrak™自動對準系統一起使用,可精確地優化光學系統的耦合效率。一旦對準,在隨后的操作過程中,位移傳感器可用來穩定系統的位置。參考上面的NanoTrak標簽可知NanoTrak應用背后的理論。

光纖對準套件

我們供應平臺和NanoTrak控制器,及其所有纜線。MAX373DK1和MAX373D1/M都是完全自動對準套件,并帶有用于紅外波長的銦鎵砷(InGaAs)探測器。 硅探測器是單獨用于可見光波長。

對于不需要自動對準的應用,平臺的壓電驅動器可由我們的BPC20X系列臺式壓電控制器控制。

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