X射線發(fā)生系統(tǒng)為X射線聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）與X射線源相結(jié)合，并且可以照射出實(shí)際照射直徑為0.1mmφ以下高強(qiáng)度的X射線束。為此，可以對以往X射線熒光鍍層厚度測量儀由于照射強(qiáng)度不足而無法得到理想精度的導(dǎo)線架、插接頭、柔性線路板等微小部件及薄膜進(jìn)行測量。同時(shí)搭載高計(jì)數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測器，在測量鍍層厚度的同時(shí)，也能對RoHS、ELV、中國版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質(zhì)進(jìn)行分析測量。

1. X射線發(fā)生系統(tǒng)采用了聚光導(dǎo)管 由于采用了X射線聚光導(dǎo)管方式，可得到以往十倍以上的X射線強(qiáng)度，從而可以提高微小樣品的膜厚測量及有害物質(zhì)測量的精度。

2. 無需液氮的半導(dǎo)體檢測器 在進(jìn)行薄膜測量與有害物質(zhì)的濃度測量時(shí)，高分辨率的檢測器是必不可少的。SFT9500的檢測器不但可以達(dá)到高分辨率，而且可以實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率。同時(shí)，由于使用了電子冷卻方式，所以無需液氮。

3. 能譜匹配軟件（選配件） 可瞬間識別未知樣品與事先存檔的X射線能譜庫中哪一個(gè)樣品較為接近的軟件。對識別材料十分有效。

4. 塊體檢量線軟件（適用于電鍍液分析） （選配件） 可簡單地測量出電鍍液中主要金屬的濃度。

5.繪圖軟件（選配件） 將元素面分析的結(jié)果進(jìn)行等高線和色彩使用等視覺處理的軟件。

6. 電鍍液容器（選配件）

7. 各種標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（選配件）