指數(shù)指標

• 散射率檢測精度 0.1%
• 升降機構(gòu)重復(fù)定位精度：0.02mm
• 旋轉(zhuǎn)機構(gòu)重復(fù)定位精度：<0.05°
• 傾斜機構(gòu)調(diào)整角度：±7.5 °
• 平移機構(gòu)：分辨率1um
• 工作頻率（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：1000Hz
• 動態(tài)范圍（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：80dB
• 品質(zhì)因數(shù)（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：Q>50
• A/D（電子學(xué)系統(tǒng)參數(shù)）：16bit