一．產品特點

• 儀器管路經鈍化處理，零死體積管路設計，等特殊工藝保證了系統的惰性，可靠性更高，使用壽命更長

• 進樣預處理系統和切換閥均采用帶吹掃保護氣路的進口自動閥，可防止空氣混入、提高系統的密閉性

• 配置氣體分離專用微填充柱和高效毛細管柱，配合分離預切再分離技術，實現樣品更高分離度

• 采用了先進的10/100M自適應以太網接口，實現全網絡反控，工作站界面簡單，數據處理功能強大。

• 采用成熟的多閥多柱，中心切割和反吹技術，國際先進的設計工藝，穩定可靠的高純氣體分析色譜技術解決方案

氦離子檢測器

二．技術參數

◆溫控系統

柱箱溫度范圍：室溫+5℃～450℃

溫度設定精度：0.01℃

溫控數量：8路獨立控溫系統

程序升溫速度：0.1～40℃/min

智能后開門：進出風量無級可調

降溫速度：從350℃降至50℃＜7min

程序升溫階數：16階（可擴展）

*長一次運行時間：999.99min

◆進樣系統

控制方式：壓力/流量控制

流量：氣體**流量為1000SCCM

靈敏度：0.01SCCM

輸出偏移量（精度）：±5%

分流比：**5000:1

電磁閥：高速切換電磁閥壽命長(10mS，100萬次)

進樣閥：可搭載多個進口自動控制閥，可自動序列運行

◆檢測器及純化器系統

檢測氣體類型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等

放電模式：脈沖放電

基線噪聲：≤0.05mv

基線漂移：≤0.2mv/30min

檢測限：10ppb（甲烷）

重復性：RSD≤3%

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe等

**操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等

殘留濃度：≤10ppb

*低檢測指標：

三．適用標準：

GB/T 16942-2009《電子工業用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業用氣體 氦》

GB/T 16944-2009《電子工業用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業用氣體 氬》

GB/T 14604-2009《電子工業用氣體 氧》 GB/T 14601-2009《電子工業用氣體 氨》

GB/T 15909-2009《電子工業用氣體 硅烷》GB/T 18994-2003《電子工業用氣體 高純氯》

GB/T 14851-93《電子工業用氣體 磷化氫》 GB/T 14603-2009《電子工業用氣體 三氟化硼》

GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險物質的測定》

四．典型譜圖：