快速檢測，快速行動

微電子和半導體檢查系統 DM3 XL

檢測速度在微電子和半導體行業的檢查、過程控制或缺陷和故障分析中至關重要。您發現缺陷的速度越快，您可以做出更快的反應。

大視野——視野增加30％

DM3 XL檢測系統視野開闊，可讓您的團隊更快地發現缺陷并提高合格率。利用獨特的宏觀物鏡增加的30％視野。

視野更大，效率更高

看到更多意味著更快地工作。為了快速掃描6英寸以下的大型組件，DM3 XL提供了獨特的微距物鏡。

放大倍數為0.7倍，它可以立即捕獲35.7毫米的視場-比其他常規掃描物鏡大30％。

有了宏觀目標，缺陷就沒有機會了：

提高產量

可靠地檢測到晶圓邊緣或中心的顯影不足

檢測不均勻的徑向膜厚度

LED適用于所有對比方法

DM3 XL將LED照明用于所有對比方法。LED照明提供恒定的色溫，并提供所有強度級別的真實彩色成像。

在所有強度級別上逼真的彩色成像

免調整

無需更換燈泡-無需停機

可重復的結果

由于使用壽命長且功耗低，LED還具有巨大的成本節省潛力。

光學高性能

使用DM3 XL，您可以以可承受的價格享受**的光學效果。

用傾斜照明檢查側面，邊緣或碎片：從不同角度照亮樣品，這是可視化地形圖的簡便有效方法。

通過深入的暗場對比度檢測樣品下層中的微小劃痕或小顆粒。

靈敏度和分辨率的急劇提高會讓您震驚。

各種樣品–可變臺插入

無論您要檢查哪種樣品大小和樣品類型，都可以從各種載物臺中進行選擇：

載物臺尺寸：150毫米x 150毫米

舞臺插件：金屬插件，晶圓支架或掩模支架

快速粗臺或精臺定位

舒適直觀地工作

彩色編碼膜片助手（CCDA）簡化了分辨率，對比度和景深的基本設置，有助于加快工作速度并減少操作錯誤。

簡單直觀的功能使您的團隊可以更快地提供可靠的結果。

借助易于觸及的控件，可在切換對比度或照明時將手放在顯微鏡上，將眼睛放在樣品上

用右手輕松操作光強度控制器

使用可變的ErgoTubes和聚焦旋鈕將顯微鏡調整到不同的身高