ParkNX12

可提供多功能原子力顯微鏡平臺滿足納米級測量的需求

- 原子力顯微鏡（AFM)有納米級分辨率成像以及電，磁，熱和機器性能測量的能力。

- 納米管掃描系統可用于高分辨率掃描離子電導顯微鏡（SICM)。

- 倒置光學顯微鏡（IOM）便于透明材料研究和熒光顯微鏡一體化。

通過驗證的NX10性能

通過倒置光學顯微鏡樣品平臺，Park NX12將Park原子力顯微鏡的多功能性和準確性相結合。這使得使用者更容易的使用納米管技術去研究透明，不透明，或軟或硬的樣品。

電化學測試的**平臺

電池，燃料電池，傳感器和腐蝕等電化學研究是個快速增長的領域，然后許多原子力顯微鏡不能直接滿足其特殊的需求。Park NX12的人性化設計，為快速操作提供便利，從而達到化學研究人員要求的功能性和靈活性。這主要包括：

• 多功能易用電化學池

• 惰性氣體和濕度的環境控制選項

• 雙恒電位儀的兼容性

研究人員可利用NX12平臺實現各種電化學應用：

• 掃描電化學顯微鏡(SECM)

• 掃描電化學池顯微鏡(SECCM)

• 電化學原子力顯微鏡（EC-AFM）和電化學掃描隧道顯微鏡( EC-STM)

多用戶設備

Park NX12完全重新構建，以適應多用戶設備需求。其他原子力顯微鏡解決方案缺乏必要的多功能性，難以滿足該設備中用戶的多重需求，很難合理控制設備成本。然而，Park NX12旨在能夠容納標準環境原子力顯微鏡成像，液體掃描探針顯微鏡，光學和納米光學成像，使其成為*靈活的原子力顯微鏡之一。

多功能應用

Park NX12功能廣泛，包括液體中的PinPoint ™和納米力學，倒置光學顯微鏡定位透明樣品，離子電導顯微鏡超軟樣品成像，以及改善透明樣品光學性能的可視性。

綜合性的力譜方法

Park NX12提供了一種在液態和空氣中的納米力學表征的完整解決方案，使其成為廣泛應用中的理想選擇。

模塊化

NX12模塊化設計不僅安裝簡單且兼容性強，可以滿足研究人員的各種實驗需求。

Park NX12可用于任何一個項目

NX系列的眾多掃描模式和模塊化設計使它可輕松地適應任何一個掃描探針顯微鏡的需求。

- 標準成像

• 真正的非接觸模式AFM

• 接觸模式AFM

• 側向力顯微鏡（LFM)

• 相位成像

• 輕敲式AAFM

-電性能

• 導電AFM

• I-V譜線

• 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM)

• 高電壓SKPM

• 掃描電容顯微鏡（SCM)

• 掃描電阻顯微鏡（SSRM)

• 掃描隧道顯微鏡 （STM)

• 掃描隧道光譜 （STS)

• 時間分辨的光電流測繪 （Tr-PCM)

- 磁性能

• 磁力顯微鏡 （MFM)

• 可調外加磁場MFM

-化學性能

• 掃描電化學池顯微鏡（SECCM)

• 掃描電化學顯微鏡 （SECM)

• 電化學顯微鏡(EC-STM和EC-AFM)

• 功能化探針的化學力顯微鏡

-熱性能

• 掃描熱感顯微鏡(SThM)

-光學性能

探針增強拉曼光譜 (TERS)

時間分辨的光電流測繪 （Tr-PCM)

-介電/壓電性能

• 靜電力顯微鏡 （EFM)

• 動態接觸式靜電力顯微鏡（DC-EFM)

• 壓電力顯微鏡 （PFM)

• 高電壓PFM

-機械性能

• Pinpoint納米力學映射

• 力調制顯微鏡 （FMM)

• 納米壓痕

• 納米刻蝕

• 高電壓納米刻蝕

• 納米操縱

• 壓電力顯微鏡 （PFM)

-力測量

• 力－距離（F-D)光譜

• 力－體積成像

• 熱噪聲法標定彈性系數

1. 高樣品 1.5 μm臺階高度

   掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

2. 平樣品藍寶石晶圓的原子臺階 0.3nm臺階高度，掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

3. 硬樣品鎢膜

掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

4. 軟樣品膠原原纖維

掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

選項

范圍廣泛的環境控制選項包括了多功能電化學池，控溫臺和濕度控制的手套箱.

- 電化學池

• 電化學池

• 通用液池的電化學工具包

- 化學選項

• 恒電位儀

• 雙恒電位儀

- 環境控制選項

• 手套箱

• 活細胞箱

- 控溫臺

• 控溫臺(-25 ~180度)

• 250度加熱臺

• 600度加熱臺

- 磁場發生器

• 平行于樣品表面的外加磁場

• 可調磁場

• 范圍：~300 gauss

- Z掃描頭

• 15 μm AFM Z 掃描頭

• 30 μm AFM Z 掃描頭

• 15 μm SICM 模塊 Z掃描頭

• 30 μm SICM 模塊 Z掃描頭

- 液態成像選項

• 液態探針柄

• 開放式液池

• 通用液池

- 隔音罩

• 獨立型 AE 204

• 獨立型 AE 301

- 夾式芯片載體

• 可用于未裝載懸臂

• 可用于導電式 AFM和EFM的針尖偏壓功能

• 針尖偏壓范圍：-10 V ~ 10 V

- 高級模式的初學者工具包

• 易使用的高級模式

• 包括特定探針和樣品

Park NX12

技術參數：

掃描器

Z掃描器

AFM 掃描頭

柔性引導高推動力掃描器

掃描范圍：15μm(可選 30μm)

SICM 掃描頭

多層壓電疊層驅動器驅動的柔性引導結構

掃描范圍：15μm(可選 30μm)

XY 掃描器

閉環控制的柔性引導XY掃描器

Scan range: 100*100μm

掃描范圍：100μm ×100μm

驅動臺

XY 驅動臺行程范圍: 50 mm x 50 mm

Z驅動臺行程范圍: 25 mm

聚焦驅動臺行程范圍: 15 mm

影像

樣品表面和懸臂的直觀同軸影像

視野: 840 μm × 630 μm (10倍物鏡)

攝像頭: 5 M Pixel (默認)， 1M Pixel (可選)

物鏡

10倍 (NA. 0.23) 超長工作距離鏡頭

20倍 (NA. 0.35) 高分辨率，長工作距離鏡頭

電子信號處理

ADC: 18 通道

24-bit ADC 的 X， Y 和 Z 掃描器位置傳感器

DAC: 17 通道

20-bit DAC的 X， Y 和 Z 掃描器定位

集成功能

3通道數字鎖相放大器

彈性系數校準(熱方法)

數據Q 控制