技術(shù)參數(shù)：

溫度范圍

RT to 1150 °C (Max. 1200 °C )

樣品尺寸

φ10 mm x 1 to 3 mm

測量氣氛

真空（空氣下 up to 150 °C）

可選

方形樣品支架（7mm，一維測量）

多樣品測量：*多3樣品

基板測量附件

室溫下樣品徑向分析（SB-1）

200℃下樣品徑向分析（SB-2）

多層樣品分析軟件（FML），符合標(biāo)準(zhǔn)：JIS H 8453

高溫爐體：可更換高溫爐體1500℃

樣品尺寸

直徑 10 mm， 厚度1 to3 mm；

基板測定：25×25×1 mm厚以下（任選部件）

分步加熱法：φ30×3～5mm厚（任選部件）

薄膜：直徑 18mm×100μm-50μm或更厚

激光源

Nd玻璃激光

輸出功率

≥10J/pulse

脈寬調(diào)節(jié)

半峰寬（FWHM） 0.1 msec/0.3 msec 或更小

測試參數(shù)

熱擴(kuò)散系數(shù)、比熱、熱導(dǎo)系數(shù)

熱擴(kuò)散系數(shù)范圍

0.01 mm2/s to 1000 mm2/s

導(dǎo)熱系數(shù)范圍

0.1 W/(m·K) to 2000 W/(m·K)

熱擴(kuò)散系數(shù)精度

≤±5﹪

比熱容精度

≤±7﹪

水循環(huán)要求

5L/min

系統(tǒng)外觀（寬*高）

800mm*1050/1700*1500