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Automegasamdri-936， Series C
產品特點：
◆ 新配置的專用“慢充”控制，給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動力學，保護了大多數易脆樣品；
◆ 外部配置了PURGE后的過濾裝置，保護樣品，容易更換和后期維護；
◆ 采用了****的“Vortex Swirl”非機械攪拌，使PURGE完全而不至于破壞樣品；
◆ 高效內部封閉冷卻循環系統，可以快速冷卻腔體溫度，縮短操作時間；
◆ 內置SOTER冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣，消除排氣噪音；
◆ 獨特的樣品室填塊，可以改變樣品室直徑，減少液態二氧化碳的消耗量和處理時間，并兼容不同尺寸晶圓的處理；
◆ 內部過濾系統，過濾流進樣品室的液態二氧化碳，過濾顆粒*低尺寸達到0.08μm；
◆ 一次運行可以處理5片6英寸晶圓，改變樣品室尺寸，每次運行也可以分別處理4英寸、3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶；
◆ 標配特氟龍兼容的6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個；
◆ 垂直樣品室，內腔有照明，樣品室蓋子帶觀察窗；
◆ 明亮的LCD觸屏控制；
◆ 內置出廠自動運行程序并可創建和保存個性化程序；
◆ 所有內部表面適用于CO2，丙酮和超純乙醇；
◆ 可以重復設置的參數，確保結果的可重復性；
◆ 集成自動控溫和靜態壓力控制模塊，確保自動安全的運行；
◆ 潔凈室和防靜電兼容設計；
◆ 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準；
產品規格：
◆ 外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；
◆ 安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；
◆ 樣品室尺寸：內徑6.5” × 深1.25”，樣品室容積：679 ml;
◆ LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型計量閥門來控制；
◆ 120V/50-60HZ(可選其他電壓)；
◆ 高壓不銹鋼LCO2管（內襯Teflon） 3 米長；
◆ 雙T型過濾裝置，雙重過濾微小顆粒，過濾裝置可預先與LCO2管連接，安裝方便；
◆ 安裝工具；
◆ 防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣；
◆ 樣品室O型圈3個，樣品室LED照明燈1個，3A和8A保險絲各2個；
◆ 4個Teflon樣品室填塊，使得樣品室直徑包括6、4、3、2和1.25英寸;
◆ 直徑為6、4、3、2英寸晶圓樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架各1個，樣品架HF兼容；
◆ 用戶手冊；
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