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日本分光制的橢圓計配有日本分光**產的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式，實現高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測量，所以主要用于向高集積化和高精細化發展的半導體及高機能光學薄膜等材料的評價。
◆規格
型號 | M-210 | M-220 | M-230 | M-240 | M-550 | ELC-300 |
測量方法 | PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式 | |||||
分光器 | - | 雙單色器自動波長驅動裝置 | 雙單色器 （260～900nm）單單色器 （900～1700nm）自動波長驅動裝置 | 單單色器自動波長驅動裝置 | 雙單色器自動波長驅動裝置 | |
測量波長 | He-Ne激光 (632.8nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240～700nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26～900nm)鹵素燈 (900～1700nm) | Xe光源 (350～800nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm) |
入射 角范圍 | 40゜～ 90゜連續自動設定（0.01゜間隔） | 45゜～ 90゜連續自動設定（0.01゜間隔） | 40゜～ 90゜連續自動設定（0.01゜間隔） | |||
膜厚測量范圍 | 0～99999? | |||||
測量時間 | 1msec以上 | 20μsec～16sec | ||||
測量準確度* | 屈折率 ±0.01 | |||||
膜厚 ±1? | ||||||
消衰係數 ±0.01 | ||||||
*準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據表面狀態、膜質不同準確度也不同。 | ||||||
樣品室 | 樣品垂直放 | 樣品水平放 | 樣品垂直放 | |||
檢測器 | 檢光子（Glan-Taylor棱鏡）紫外可見區域：光電子倍増管 近紅外區域：InGaAs-PIN光電二極管（M-240） | |||||
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