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CIF透射電鏡樣品桿清洗機
CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機采用雙等離子清洗源設計，自動切換，一機多用，清洗快速高效。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時可實現常規等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。
產品特點
u 雙等離子清洗源
u 一機多用
u 快速高效低損傷
技術參數
產品型號 | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵 |
入口壓力1.0個大氣壓（0psig），出口壓力1.4個大氣壓（6.5psig） | |
抽速60L/min，極限真空3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等離子電源 | 13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-100W可調 |
兩種等離子體清洗源，原位等離子源和遠程等離子源，自動匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(長X寬X高)150X150X150mm |
清洗數量 | 可同時清洗3支TEM樣品桿 |
適配品牌 | THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷歐路JEOL |
氣體控制 | 標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器（MFC），精確測量自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計，測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
電源 | 220V，50/60Hz，300W |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |
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